В России начнут производить лазеры для выпуска микросхем
По словам замминистра промышленности и торговли России Василия Шпака, в стране планируют начать выпускать суверенные эксимерные лазеры для литографии. По предварительным данным, производство будет запущено после 2026 года. Мощность предприятия составит от 5 лазеров в год. Об этом информирует CNews.
Г-н Шпак также отметил, что лазер для изготовления микросхем разработали специалисты ГК «Лассард». Несмотря на то, что точные сроки запуска производства замминистра не озвучил, он всё же рассказал изданию: уже в 2025 году изделие начнут испытывать в тестовом режиме.
Тестированием займутся специалисты «Зеленоградского нанотехнологического центра» (ЗНТЦ), при этом решение установят в конструкцию литографа, работающего по топологии 350 нм. Ожидается, что лазер увеличит этот показатель до 130 нм.
Согласно заявлению Шпака, в покупке лазерных литографов российского производства заинтересован ряд отечественных компаний. Например, в их числе состоит производитель полупроводников «Микрон».