
В Новосибирске разработали аналог американскому лазерному комплексу для печати микросхем
Российская компания «Оптические технологии» (Новосибирск) разработала отечественный лазерный комплекс для создания фотошаблонов, используемых в производстве микросхем.
Представители компании отмечают, что разработка замещает американские лазеры на 257 нанометров от компании Coherent. Российский лазер, по их словам, пока не имеет аналогов на территории страны.
Процесс создания микросхем начинается с фотошаблона — тончайшей плёнки, содержащей микроскопический рисунок будущей схемы на кремниевой подложке. Более 75% современных фотошаблонов высокого разрешения изготавливаются именно с помощью лазерной литографии.
Сердцем разработанной системы, как сообщает ТАСС, является лазер, задающий основную энергию в 10-30 милливатт, а также дополняющий его волоконный усилитель, увеличивающий мощность лазера до 15 ватт. Для преобразования частоты лазерного света применяется специальный кристалл.
Как пояснил представитель компании-разработчика, особенностью системы является её невысокое энергопотребление: она потребляет 1 ватт энергии, что в два раза меньше обычного чайника.
Перед выходом на рынок предсерийный прототип лазерной системы будет проходить испытания на белорусском предприятии электронной промышленности «Планар». Ожидается, что совместные тесты выявят все возможные недостатки и помогут довести систему до совершенства перед запуском её в серийное производство.