В Томске освоили выпуск сверхчистого реагента для микроэлектроники
Производство бромистого водорода позволит закрыть внутренний спрос и уменьшить зависимость от зарубежных поставок.
В Томске заработала новая производственная линия по выпуску высокочистого бромистого водорода (HBr), необходимого отечественной микроэлектронике. Проект реализуют Томский государственный университет (ТГУ) и Инжиниринговый химико-технологический центр (ИХТЦ), пишет ТАСС.
Мощности предприятия рассчитаны на выпуск 650 кг вещества в год, но при необходимости объём может быть увеличен. По словам представителей ИХТЦ, этого достаточно, чтобы полностью обеспечить спрос отечественных производителей.
Разработка и внедрение технологии заняли около полутора лет: от лабораторных экспериментов до промышленного выпуска вещества с чистотой 99,999% (5N). Для официального запуска был получен паспорт безопасности от Института стандартизации.
Ключевым вызовом стало создание системы аналитического контроля, которых прежде в России никто не производил. Специалисты центра разработали методики для выявления критических примесей, включая воду, хлороводород и металлы. Это позволило гарантировать стабильное качество продукции, где даже минимальные загрязнения могут привести к остановке микроэлектронного оборудования.
Проект входит в федеральную программу развития электронного машиностроения до 2030 года. Основными заказчиками выступают ведущие предприятия отрасли — «Микрон», «ОКБ Планета», «ВЗПП-Микрон» и «Ангстрем».
Запуск линии по производству HBr — лишь один из этапов формирования в России собственной базы сверхчистой химии. ИХТЦ уже освоил выпуск TDMAT, а к концу 2025 года планируется запуск трибромида бора с рекордной чистотой 99,99995%.